보부하이테크

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Products

metal
heaters

overview

메탈 히터는 빠르고 균일한 가열로 인해 정밀한 온도 조절이 가능하여 중-저온의 다양한 막질 처리 등에 사용됩니다.

operating temperature

Al < 450℃

characteristics

thermal conductivity

high

temperature uniformity

good

Temperature Control Precision

EXCELLENT

application

Chemical Vapor Deposition(CVD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Ashing

types & sizes

Block Heaters

sizes

150mm

200mm

Pedestal Heaters

sizes

150mm

200mm

300mm

Coating Technology

다양한 표면처리를 통해 내식성, 내구성 등을 구현

AlFx

Rapid Thermal Processing (RTP)
Lamphousing

overview

RTP는 실리콘 웨이퍼를 단 몇 초의 짧은 시간 내 1,000°C 이상으로 가열하는 공정입니다. 할로겐(또는 텅스텐-할로겐) 램프로 생성된 적외선을 집광렌즈 통해 웨이퍼에 순간적으로 전달합니다. 가열 후에는 웨이퍼를 서냉시켜 Thermal Shock를 방지합니다.

operating temperature

rtp < 1000℃

characteristics

집중가열
낮은 열처리량
주변환경 제어 용이
공정 시간 단축

application

Annealing
Dopant Activation

types & sizes

· AMAT Vantage Plus
· AMAT Centura

materials

stainless steel & copper brazed

lamp #

409

sizes

300mm

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