보부하이테크

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heating
jackets

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가스배관 외관에 밀착시켜 열을 전달함으로써 배관 내 흐르는 가스를 간접 가열시켜 응고나 물성 변화를 방지합니다. 히터, 온도 센서, 그리고 제어 시스템으로 구성됩니다.

operating temperature

Silicon-Rubber < 230℃

Teflon < 260℃

characteristics

temperature control precision

EXCELLENT

temperature uniformity

good

application

Chemical Vapor Deposition (CVD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Oxidization
Annealing
Etching

types & sizes

㈜보부하이테크는 Silicon-Rubber과 Teflon 소재의 Heating Jacket을 제조하고 있습니다.

silicon-rubber

Sizes

20mm×50mm, ø6.35 ~ 400mm×3000mm, ø500

capacity tolerance

+-7%​

insulation resistance

100MΩ Over/DC500V

withstanding voltage

1200V/min

teflon

Sizes

Thickness 5 ~ 25t, Diameter ø25.4 ~ ø325

capacity tolerance

+-7%​

insulation resistance

100MΩ Over/DC500V

withstanding voltage

1200V/min

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