Products
heating
jackets
overview
HEATING JACKET은 히터, 온도 센서, 그리고 제어 시스템으로 구성되며, 가스배관 외관에 밀착시켜 열을 전달함으로써 배관 내 흐르는 가스를 간접 가열시켜 응고나 물성 변화를 방지합니다.
operating temperature
Silicon-Rubber < 230℃
Teflon < 260℃
characteristics
temperature control precision
EXCELLENT
temperature uniformity
good
application
Chemical Vapor Deposition (CVD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Oxidization
Annealing
Etching
types & sizes
㈜보부하이테크는 Silicon-Rubber과 Teflon 소재의 HEATING JACKET을 제조하고 있습니다.
silicon-rubber
Sizes
Min. 20mm×50mm, ø6.35 | Max. 400mm×3000mm, ø500
capacity tolerance
±10%
insulation resistance
1,000MΩ Over/DC500V
withstanding voltage
1,500V/min
teflon
Sizes
Thickness 5 ~ 25t | Diameter ø25.4 ~ ø325
capacity tolerance
±10%
insulation resistance
1,000MΩ Over/DC500V
withstanding voltage
1,500V/min