Products
Electrostatic
Chucks (ESC)
overview
ESC는 정전기력(Electrostatic Force)을 이용하여 웨이퍼를 고정하고 내장 히터 회로로 웨이퍼의 공정 온도와 열 균일성을 제어하는 핵심 부품입니다. ㈜보부하이테크는 ESC의 Electrode Plate와 히터를 Bonding, De-bonding 할 수 있는 기술력을 갖추었으며, 고객의 세부적 Needs에 따라 세정, 수리 및 제작이 가능합니다.
operating temperature
AlN < 400℃
Al₂O₃ < 100℃
application
Etching
Chemical Vapor Deposition(CVD)
Physical Vapor Deposition(PVD)
Ion Implantation
types & sizes
㈜보부하이테크는 다양한 설계 디자인으로 ESC를 제조하고 있습니다.
chucking type
coulomb
ESC 유전층 사이에서 Chucking Force 발생
공정 온도 변화에도 Chucking Force는 무관
Johnsen-Rahbek
ESC와 웨이퍼 사이의 Microspace에서 Chucking Force 발생
저전압 인가 시에도 높은 Chucking Force 발생
electrode / pole type
monopolar
하나의 전극을 사용해 웨이퍼를 척 표면에 고정
bipolar
두 개의 서로 다른 전극을 사용해 웨이퍼를 강력한 전기적 인력으로 고정
Multipolar
세 개의 서로 다른 전극을 사용해 웨이퍼를 더 강한 전기적 인력으로 고정
ceramic sintering process
multi-layer ceramic (tape casting)
Multi-Layer Electrodes & Multi-Zone Heaters 내부 장착
hot press
Dielectric Strength : HIGH
Durability : GOOD
Plasma Resistance & Anti-Corrosion : EXCELLENT
multi-zone heaters
normal-zone
1
heating zone
multi-zone
4 ~ 300+
heating zones
coating technology
다양한 표면처리를 통해 내식성, 내구성 등을 구현
diamond-like carbon(DLC)
tiN
siC