보부하이테크

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Products

Electrostatic
Chucks (ESC)

overview

ESC는 정전기력(Electrostatic Force)을 이용하여 웨이퍼를 고정하고 내장 히터 회로로 웨이퍼의 공정 온도와 열 균일성을 제어하는 핵심 부품입니다. ㈜보부하이테크는 ESC의 Electrode Plate와 히터를 Bonding, De-bonding 할 수 있는 기술력을 갖추었으며, 고객의 세부적 Needs에 따라 세정, 수리 및 제작이 가능합니다.

operating temperature

AlN < 400℃

Al₂O₃ < 100℃

application

Etching
Chemical Vapor Deposition(CVD)
Physical Vapor Deposition(PVD)
Ion Implantation

types & sizes

㈜보부하이테크는 다양한 설계 디자인으로 ESC를 제조하고 있습니다.

chucking type

coulomb

ESC 유전층 사이에서 Chucking Force 발생

공정 온도 변화에도 Chucking Force는 무관

Johnsen-Rahbek

ESC와 웨이퍼 사이의 Microspace에서 Chucking Force 발생

저전압 인가 시에도 높은 Chucking Force 발생

electrode / pole type

monopolar

하나의 전극을 사용해 웨이퍼를 척 표면에 고정

bipolar

두 개의 서로 다른 전극을 사용해 웨이퍼를 강력한 전기적 인력으로 고정

Multipolar

세 개의 서로 다른 전극을 사용해 웨이퍼를 더 강한 전기적 인력으로 고정

ceramic sintering process

multi-layer ceramic (tape casting)

Multi-Layer Electrodes & Multi-Zone Heaters 내부 장착

hot press

Dielectric Strength : HIGH
Durability : GOOD
Plasma Resistance & Anti-Corrosion : EXCELLENT

multi-zone heaters

normal-zone

1
heating zone

multi-zone

4 ~ 300+
heating zones

coating technology

다양한 표면처리를 통해 내식성, 내구성 등을 구현

diamond-like carbon(DLC)
tiN
siC

sizes

200mm

300mm

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