보부하이테크

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Products

ceramic
heaters

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세라믹 히터는 ain 소재의 특성상 내열성, 열전도성이 우수하여 고온의 막질 처리 등에 사용됩니다.

operating temperature

ain < 700℃

characteristics

thermal conductivity

170W/m-k

temperature uniformity

good

plasma resistance & anti-corrosion

EXCELLENT

durability

good

thermal expansion

Similar to that of Silicon

application

chemical vapor deposition (CVD)
atomic layer deposition (ALD)
diffusion
annealing

types & sizes

(주)보부하이테크는 세라믹 히터 작동 온도(Operating Temperature)의 Control 범위를 넓히기 위해 Single Zone Heating 뿐만아니라 Dual Zone Heating 기술력도 확보 하였습니다.

Single Zone

Dual Zone

sizes

200mm

300mm

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