Products
ceramic
heaters
overview
CERAMIC HEATER는 AlN 소재의 특성상 내열성, 열전도성이 우수하여 고온의 막질 처리 등에 사용됩니다.
operating temperature
AlN < 700℃
characteristics
thermal conductivity
170W/m-k
temperature uniformity
good
plasma resistance & anti-corrosion
EXCELLENT
durability
good
thermal expansion
Similar to that of Silicon
application
chemical vapor deposition (CVD)
atomic layer deposition (ALD)
diffusion
annealing
types & sizes
(주)보부하이테크는 작동 온도(Operating Temperature)의 Control 범위를 넓히기 위해 Single Zone Heating뿐만 아니라 Dual Zone Heating 기술력도 확보하였습니다.
Single Zone
Dual Zone
sizes
200mm
300mm