Locations 본사 Headquarters & Manufacturing Facility 대한민국 경기도 용인시 죽전동 제조시설 (4,900m²) Metal Heater, Ceramic Heater, ESC, R&D, Production, Sales, Administration 광주 Factory Manufacturing Facility 대한민국 경기도 광주시 삼동 제조시설 (1,107m²) System and Component Business, Load-Port, N2-Purge System, Heating Jacket 강릉 Factory Manufacturing Facility 대한민국 강원도 강릉시 대전동 제조시설 & 부지 (5,825.2m²) AlF Coating Equipment, Ceramic Material Manufacturing China Subsidiary Subsidiary Offices Wuxi, China 자회사 (540m²) Sales and Services 원삼 Factory Upcoming Manufacturing Facility 대한민국 경기도 용인시 원삼면 제조시설 (5,338m²)