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金属加热器

大纲

金属加热器由于加热迅速且均匀,可实现精确的温度控制,适用于中低温的各种薄膜处理等。

工作温度

Al < 450℃

特征

thermal conductivity

high

temperature uniformity

good

Temperature Control Precision

EXCELLENT

应用领域

Chemical Vapor Deposition(CVD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Ashing

类型和尺寸

Block heaters

尺寸

150mm

200mm

Pedestal Heaters

尺寸

150mm

200mm

300mm

Coating Technology

通过多种表面处理实现耐腐蚀性、耐久性等

AlFx

Rapid Thermal Processing (RTP)
Lamphousing

大纲

RTP是一种在几秒钟内将硅晶片加热到1,000°C以上的工艺。Halogen(或Tungsten Halogen)灯产生的红外线通过聚光镜瞬间传递到晶圆上。加热后缓慢冷却晶圆以防止Thermal Shock。

工作温度

rtp < 1,000℃

特征​

集中加热
低热处理量
易于控制周围环境
缩短工艺时间

应用领域

Annealing
Dopant Activation

类型和尺寸

· AMAT Vantage Plus
· AMAT Centura

材料

stainless steel & copper brazed

灯 #

409

尺寸

300mm

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