BOBOO HITECH

Products

Electrostatic
Chucks (ESC)

大纲

ESC 是利用静电力固定晶圆,并通过内置加热器电路控制晶圆的工艺温度和热均匀性的核心部件。
BOBOO HITECH 具备将ESC的电极板和加热器进行粘接和分离的技术能力,并可根据客户的具体需求进行清洗、维修和制造。

工作温度

AlN < 400℃

Al₂O₃ < 100℃

应用领域

Etching
Chemical Vapor Deposition(CVD)
Physical Vapor Deposition(PVD)
Ion Implantation

类型和尺寸

BOBOO HITECH通过各种设计制造ESC。

chucking type

coulomb

在ESC介电层之间产生Chucking Force

工艺温度变化也不影响Chucking Force

Johnsen-Rahbek

在ESC和晶圆之间的微空间中产生Chucking Force

即使施加低电压也能产生高Chucking Force

electrode / pole type

monopolar

使用一个电极将晶圆固定在卡盘表面

bipolar

使用一个电极将晶圆固定在卡盘表面

Multipolar

使用三个不同的电极以更强的电力固定晶圆

ceramic sintering process

multi-layer ceramic (tape casting)

内部安装Multi-layer Electrodes和Multi-zone Heaters

hot press

Dielectric Strength : HIGH
Durability : GOOD
Plasma Resistance & Anti-Corrosion : EXCELLENT

multi-zone heaters

normal-zone

1
heating zone

multi-zone

4 ~ 300+
heating zones

coating technology

通过多种表面处理实现耐腐蚀性、耐久性等

diamond-like carbon(DLC)
tiN
siC

尺寸

200mm

300mm

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