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金属加热器
大纲
金属加热器由于加热迅速且均匀，可实现精确的温度控制，适用于中低温的各种薄膜处理等。
工作温度
Al < 450℃
特征
thermal conductivity
high
temperature uniformity
good
Temperature Control Precision
EXCELLENT
应用领域
Chemical Vapor Deposition(CVD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Ashing
类型和尺寸
Block heaters
尺寸
150mm
200mm
Pedestal Heaters
尺寸
150mm
200mm
300mm
Coating Technology
通过多种表面处理实现耐腐蚀性、耐久性等
AlFx
Rapid Thermal Processing (RTP)
Lamphousing
大纲
RTP是一种在几秒钟内将硅晶片加热到1,000°C以上的工艺。Halogen（或Tungsten Halogen）灯产生的红外线通过聚光镜瞬间传递到晶圆上。加热后缓慢冷却晶圆以防止Thermal Shock。
工作温度
rtp < 1,000℃
特征
集中加热
低热处理量
易于控制周围环境
缩短工艺时间
应用领域
Annealing
Dopant Activation
类型和尺寸
· AMAT Vantage Plus
· AMAT Centura
材料
stainless steel & copper brazed
灯 #
409
尺寸
300mm