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加热套
大纲
紧贴气体管道外观传递热量，通过间接加热管道内流动的气体，防止其凝固或物性变化。由加热器、温度传感器和控制系统组成。
工作温度
Silicon-Rubber < 230℃
Teflon < 260℃
特征
temperature control precision
EXCELLENT
temperature uniformity
good
应用领域
Chemical Vapor Deposition (CVD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Oxidization
Annealing
Etching
类型和尺寸
BOBOO HITECH 制造Silicon-Rubber和Teflon材料的加热套。
silicon-rubber
Sizes
Min. 20mm×50mm, ø6.35 | Max. 400mm×3000mm, ø500
capacity tolerance
±10%
insulation resistance
1,000MΩ Over/DC500V
withstanding voltage
1,500V/min
teflon
Sizes
Thickness 5 ~ 25t | Diameter ø25.4 ~ ø325
capacity tolerance
±10%
insulation resistance
1,000MΩ Over/DC500V
withstanding voltage
1,500V/min