Products
Electrostatic
Chucks (ESC)
大纲
ESC 是利用静电力固定晶圆，并通过内置加热器电路控制晶圆的工艺温度和热均匀性的核心部件。
BOBOO HITECH 具备将ESC的电极板和加热器进行粘接和分离的技术能力，并可根据客户的具体需求进行清洗、维修和制造。
工作温度
AlN < 400℃
Al₂O₃ < 100℃
应用领域
Etching
Chemical Vapor Deposition(CVD)
Physical Vapor Deposition(PVD)
Ion Implantation
类型和尺寸
BOBOO HITECH通过各种设计制造ESC。
chucking type
coulomb
在ESC介电层之间产生Chucking Force
工艺温度变化也不影响Chucking Force
Johnsen-Rahbek
在ESC和晶圆之间的微空间中产生Chucking Force
即使施加低电压也能产生高Chucking Force
electrode / pole type
monopolar
使用一个电极将晶圆固定在卡盘表面
bipolar
使用一个电极将晶圆固定在卡盘表面
Multipolar
使用三个不同的电极以更强的电力固定晶圆
ceramic sintering process
multi-layer ceramic (tape casting)
内部安装Multi-layer Electrodes和Multi-zone Heaters
hot press
Dielectric Strength : HIGH
Durability : GOOD
Plasma Resistance & Anti-Corrosion : EXCELLENT
multi-zone heaters
normal-zone
1
heating zone
multi-zone
4 ~ 300+
heating zones
coating technology
通过多种表面处理实现耐腐蚀性、耐久性等
diamond-like carbon(DLC)
tiN
siC