Products
陶瓷加热器
大纲
陶瓷加热器由于AlN材料的特性，具有优异的耐热性和热导性，适用于高温的薄膜处理等。
工作温度
AlN < 700℃
特征
thermal conductivity
170W/m-k
temperature uniformity
good
plasma resistance & anti-corrosion
EXCELLENT
durability
good
thermal expansion
Similar to that of Silicon
应用领域
chemical vapor deposition (CVD)
atomic layer deposition (ALD)
diffusion
annealing
类型和尺寸
BOBOO HITECH 不仅拥有Single Zone Heating，还具备Dual Zone Heating, 以扩大陶瓷加热器的操作温度控制范围。
Single Zone
Dual Zone
尺寸
200mm
300mm