ȸ»ç¼Ò°³
¡å
°æ¿µÀ̳ä
¢ßº¸ºÎÇÏÀÌÅ×Å©ÀÇ ÁÖ·ÂÁ¦Ç°À¸·Î´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ÇÊ¿äÇÑ CVD °øÁ¤ÀÇ ÇٽɺÎÇ°ÀÎ Heater Block ¹× °ü·Ã ºÎÇ°À» ÀÚü °³¹ß °ø±ÞÇÔÀ¸·Î½á
¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÇ ¼±µÎÁÖÀÚÀÎ »ï¼º, ÇÏÀ̴нº»ç·ÎºÎÅÍ ±× Ç°ÁúÀÇ ¿ì¼ö¼ºÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾ÒÀ¸¸ç,
¼öÃâÀ» ÅëÇÑ ÇØ¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼µµ (ÁÖ)º¸ºÎÇÏÀÌÅ×Å© Á¦Ç°ÀÇ À§»óÀ» ÀÎÁ¤¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.